产品描述
【产品尺寸】4-10inch 翘曲:±3mm
【CG规格】2.5D、3D、90°、高度≤5, 弯曲半径≥3, 弯曲角度≤90°
【设备精度】+/-50um 【设备节拍】5 S/Pcs(6寸计算)
【贴合方式】2D:Roller+Stage;3D:Pad+Clamp+真空
【设备尺寸】28000*3000*2200mm
【生产稳定良率高】 • 工艺链短,腔体内部结构简洁(无驱动机构),生产稳定良率高
【稼动率高】 • 4单元可独立工作,某一单元待机不影响其他单元
【结构布局好】 • 工作面采用ROBOT结构设计,结构简单、功能灵活、调试方便
【模块化设计】 • 每单元采用多段拼接,设备拼装及运输灵活
【耗材少】 • OCA撕重膜和轻膜采用夹子、 真空贴合不需要承载膜
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