产品描述
【产品尺寸】
1、80mm≤产品长度≤300mm(四流道)
2、30mm≤产品宽度≤100mm(四流道)
3、产品厚度 0.1~2mm(可定制)
【设备精度】
+/-0.02mm
【设备节拍】
以清洗时间10s为例,UPH≥450PCS
【RF频率】
13.56MHz (1KW)(标配国产知名品牌)
【设备尺寸】
1680mm * 1100mm * 1600mm
【清洗能力强】
• 清洗后水滴角为 15°~ 35°【产品表面清洗均匀性好】
• 采用片式清洗方式,表面清洗均匀,无死角
关键词:
自动化设备
半导体设备
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